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課程名稱 |
半導體製造技術
SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGY |
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開課學期 |
96-2 |
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授課對象 |
生物資源暨農學院 生物產業機電工程學研究所 |
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授課教師 |
陳林祈 |
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課號 |
BME5708 |
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課程識別碼 |
631 U4640 |
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班次 |
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學分 |
3 |
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全/半年 |
半年 |
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必/選修 |
選修 |
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上課時間 |
星期一6,7,8(13:20~16:20) |
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上課地點 |
知203 |
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備註 |
總人數上限：25人 |
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Ceiba 課程網頁 |
http://ceiba.ntu.edu.tw/962SMT |
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課程簡介影片 |
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核心能力關聯 |
核心能力與課程規劃關聯圖 |
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課程大綱
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為確保您我的權利,請尊重智慧財產權及不得非法影印
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課程概述 |
四十多年前的費曼說「There is plenty of room at the bottom！」；三十多年前的摩爾
說「電腦晶片上的電晶體數目將每十八個月增加一倍」，這些預言隨著半導體製造技術的
突飛猛進皆已實現。而人們究竟如何在披薩般大小的晶圓片上玩起分子建築學？以及晶圓
片上的高密度分子建築有何作用？本課程將藉由半導體材料及製程技術的全貌介紹為修課
學生解答上述的問題，並期望能增進修課學生未來跨足半導體產業、光電產業以及微奈米
機電產業的競爭力。 |
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課程目標 |
Help technology students grasp the fundamental technologies used in
manufacturing semiconductor devices.
Present some of the many challenges in microchip fabricaion.
Instill in the reader an appreciation of the conceptual simplicity of
semiconductor manufacturing. |
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課程要求 |
Midterm, Final Exams, & Homeworks |
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預期每週課後學習時數 |
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Office Hours |
另約時間 備註： by appointment |
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指定閱讀 |
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參考書目 |
Text: Quirk, M. & Serda, J. (2006) Semiconductor Manufacturing Technology,
Pearson Education Taiwan Ltd.（倉海書局代理: 02-27090781）
Xiao, H. (2001) Introduction to Semiconductor Manufacturing Technology,
Prentice-Hall
Sze, S. M. (2001) Semiconductor Devices: Physics and Technology (2nd ed), Wiley
莊達人 (2002) VLSI製造技術 (第5版), 高立圖書公司
陳力俊等 (2000) 微電子材料與製程,材料學會
Madou, M. J. (2002) Fundamentals of Microfabrication: The Science of
Miniaturization (2nd ed.), CRC Press
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評量方式
(僅供參考) |
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No. |
項目 |
百分比 |
說明 |
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1. |
期中考 |
40% |
closed books |
2. |
期末考 |
45% |
1. take-home exam
2. oral report |
3. |
作業 |
15% |
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週次 |
日期 |
單元主題 |
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第1週 |
02/18 |
Introduction to the Semiconductor Industry (Ch 1) |
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第2週 |
02/25 |
Characteristics of Semiconductor Materials (Ch 2) & Chemicals in Semiconductor Fabrication (Ch 5) |
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第3週 |
03/03 |
Device Technologies (Ch 3)
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第4週 |
03/10 |
Silicon and Wafer Preparation (Ch 4) |
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第5週 |
03/17 |
Contamination Controls in Wafer Fabs (Ch 6) & Gas Control in Process Chambers (Ch 8) |
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第6週 |
03/24 |
Metrology & Defect Inspection (Ch 7) |
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第7週 |
03/31 |
Process Overview (Ch 9)
Oxidation (Ch 10) |
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第8週 |
04/07 |
Oxidation (Ch 10) |
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第9週 |
04/14 |
Midterm Exam (closed books) |
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第10週 |
04/21 |
Deposition (Ch 11) |
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第11週 |
04/28 |
Metallization (Ch 12)
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第12週 |
05/05 |
Photolithography I (Ch 13-14)
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第13週 |
05/12 |
No Class |
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第14週 |
05/19 |
Photolithography II (Ch 14-15) |
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第15週 |
05/26 |
Etch (Ch 16) |
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第16週 |
06/02 |
Ion Implant (Ch 17) |
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第17週 |
06/09 |
Chemical Mechanical Planarization (Ch 18) |
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第18週 |
06/18 |
Final Exam (take-home exam + oral report) |
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